在半导体器件章节的AI初稿审查中,我们采用五层过滤体系:事实层、引用层、方法层、推理层和格式层。以某次审查为例,我们分析了一篇关于GaN HEMT器件的AI生成初稿。初稿声称“GaN HEMT的二维电子气浓度可达$10^{13} \text{cm}^{-2}$”,但未注明温度与偏压条件。我们实验室在测试中发现,若未指定条件,该数值可能偏差一个数量级。因此,事实层要求所有关键参数必须附带来源与测量条件。
引用层则需验证参考文献的真实性。我们曾遇到AI虚构的引用,如“Smith et al., 2022, J. Appl. Phys.”,但实际该期刊并无此文。方法层关注实验步骤的完整性,例如AI描述“器件采用MOCVD生长”,却遗漏了缓冲层厚度与生长温度。推理层检查逻辑链条,如“迁移率提高导致电流增大”是否忽略了串联电阻的影响。格式层则确保单位、符号符合IEEE标准。